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●同時(shí)進(jìn)行四通道顆粒量測(cè)，量測(cè)范圍為 0.1μm 以上，0.2μm 以上， 0.3μm 以上，0.5μm以上

●流量： 2.83 L/min (0.1 CFM)

●直接量測(cè)大宗氣體及一般惰性氣體

●檢測(cè)氣體時(shí)，機(jī)臺(tái)內(nèi)部氣體無死角殘留之問題

●支持 N2 , CO? , Ar , He , CDA ,等氣體

可以連續(xù)在線檢測(cè)管道氣微顆粒，穩(wěn)定性、可靠性好！日常維護(hù)方便！